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CCD-A型超高真空電動插板閥系列

CCD-A型超高真空電動插板閥系列

CCD-A型超高真空電動插板閥為新研制的超薄閥

  門,是以步進電機為動力,采用螺紋絲桿傳動機

  構推(拉)動閥芯組件做直線運動,從而控制閥門的

  開啟或關閉,其開啟或關閉位置任意可調。該系

  列插板閥適用于工作介質為空氣及非腐蝕性氣體

  的場合,配有觸動開關,控制閥門的開閉位置。

CCD-A型超高真空電動插板閥型號有:CCD-

  50A、CCD-63A、CCD-80A、CCD-100A、CCD-

  150A、  CCD-200A、  CCD-250A、  CCD-320A、

  CCD-400Ao

■閥門標準接口形式有:CF、ISO-F、ISO- K三種。


型號

CC-50A

CCQ-50A

CC-63A

CCQ-63A

CC-80A

CCQ-80A

CC-100A

CCQ-100A

CCD-100A

CC-150A

CCQ-150A

CCD-150A

借口法蘭

CF/IOS-F/IOS-K

公稱通徑

DN50

DN63

DN80

DN100

DN150

適用范圍(Pa)

105~10-7

105~10-7

105~10-7

105~10-7

105~10-7

漏率(Pa·m3/s)

1.3X10-10

1.3X10-10

1.3X10-10

1.3X10-10

1.3X10-10

驅動方式

手動

氣動

手動

氣動

手動

氣動

手動

氣動

電動

手動

氣動

電動

工作氣壓(MPa)

/

03~0.4

/

0.4~0.5

/

0.4~0.5

/

0.4~0.5

/

/

0.4~0.5

/

工作電壓(V)

/

/

/

/

/

/

/

/

24DC90

/

/

24DC90

烘烤溫度(°C)

150

150

150

150

150

120

120

120

120

120

安裝方向

任意

任意

任意

任意

任意

 

    

型號

CC-200A

CCQ-200A

CCD-200A

CC-250A

CCQ-250A

CCD-250A

CC-320A

CCQ-320A

CCD-320A

CC-400A

CCQ-400A

CCD-400A

接口法蘭

CF/IOS-F/IOS-K

公稱通徑

DN200

DN250

DN320

DN1400

適用范圍(Pa)

105~10-7

105~10-7

105~10-7

105~10-7

漏率(Pa·m3/s)

1.3X10-10

1.3X10-10

1.3X10-10

1.3X10-10

驅動方式

手動

氣動

電動

手動

氣動

電動

手動

氣動

電動

手動

氣動

電動

工作氣壓(MPa)

/

0.4~0.6

/

/

0.4~0.6

/

/

0.4~0.6

/

/

0.5~0.7

/

工作電壓(V)

/

/

24DC90

/

/

24DC90

/

/

24DC90

/

/

24DC90

烘烤溫度(°C)

150

150

150

15

120

120

120

120

安裝方向

任意

任意

任意

任意

 

 

 


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